オートメーション産業における露出型リニアスケールの応用

その露出線形スケール高精度な計測が求められる工作機械やシステム向けに設計されており、ボールねじの温度特性や運動特性によって発生する誤差や逆誤差を排除します。

対象業種:
半導体産業向け計測・製造装置
回路基板組立機
精密工作機械
高精度工作機械
測定機およびコンパレーター、測定顕微鏡およびその他の精密測定機器

シリーズ製品の応用と紹介：
LS40シリーズリニアグレーティング読み取りヘッドは、40μmのグレーティングピッチを持つM4シリーズ超薄型ステンレススケールに適合しています。シングルフィールドスキャンと低レイテンシのサブディビジョン処理の採用により、優れた動的性能を実現しています。
RUシリーズ直線格子スケールは、高精度直線測定のためのフィードバックを提供するために設計された、20μmのインクリメンタル格子スケールです。高度な干渉格子線マーキング技術を採用し、格子線誤差は40nm未満に抑えられています。高強度で耐腐食性に優れた特殊材料を使用しています。ステンレス鋼素材により、長期にわたる安定した使用を保証します。
RXシリーズのインクリメンタルリードヘッドは、RH Optics社の先進的な光学式ゼロ位置センサーを搭載しています。Handing Optical社の最先端のゼロ点シングルフィールドスキャン技術、高度な自動ゲイン調整技術、自動偏差補正技術を採用しています。電子分割誤差が少なく、優れた耐汚染性能を備え、リニアグレーティングスケールとリンググレーティングスケールに対応しています。

機械構造：
露出した線形スケール非接触式のスチールテープスケールと読み取りヘッドで構成されています。オープン型リニアグレーティングスケールのスチールテープスケールは取り付け面に直接固定されるため、取り付け面の平坦度がリニアグレーティングスケールの精度に影響します。