オートメーション産業における露出型リニアスケールの応用

の露出リニアスケール高精度測定が要求される工作機械やシステム向けに設計されており、ボールねじの温度特性や動作特性に起因する誤差や逆誤差を解消します。

該当する業種:
半導体産業向けの測定および製造装置
基板組立機
精密工作機械
高精度工作機械
測定機・コンパレータ、測定顕微鏡等精密測定装置

シリーズ製品の応用と紹介：
LS40 シリーズ リニア グレーティング読み取りヘッドは、40μm グレーティング ピッチの M4 シリーズ極薄ステンレス鋼スケールに適合します。シングルフィールドスキャンと低遅延の細分割処理の適用により、優れた動的パフォーマンスを実現します。
RU シリーズ リニア グレーティング スケールは、高精度のリニア測定のためのフィードバックを提供するように設計されたインクリメンタル 20μm グレーティング スケールです。高度な干渉格子ラインマーキング技術を採用しており、格子ライン誤差は40nm以下に制御されています。高強度、耐食性に優れた特殊素材を使用しています。ステンレス素材なので長期間安定してご使用いただけます。
RX シリーズ インクリメンタル リードヘッドには、RH Optics の高度な光学式ゼロ位置センサーが装備されています。Handing Optical の最先端のゼロ点単一フィールド走査技術、高度な自動ゲインおよび自動偏差補正技術を採用しています。電子的細分割誤差が低く、強力な汚染防止性能があり、リニア格子スケールおよびリング格子と互換性があります。

機械構造:
露出したリニアスケール非接触のスチールテープスケールと読み取りヘッドが含まれています。オープンリニアグレーティングスケールのスチールテープグレーティングスケールは取り付け面に直接固定されているため、取り付け面の平坦度はリニアグレーティングスケールの精度に影響します。